시설이용

  2. 시설이용
  3. 장비 소개

장비 소개

엘립소미터 Ellipsometer
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반도체 세정장치 Semiconductor wet station
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실험실용 후드 Hume hood
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유도결합 플라즈마 식각장비 Plasma Etching System
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원자층증착기 Atomic layered Deposition system
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고진공열증착기 Evaporator
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(DC) 스퍼터 (DC) Sputter
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DCRF 스퍼터링 시스템 DCRF Magnetron Sputter
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마스크 얼라이너 Aligner & Exposurer
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(DC)마그네트론 스퍼터링 시스템 (DC)Magnetron sputter
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열처리기(튜브타입 RTP) RTP system
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화학증기증착시스템(저압화학증기증착장비) Dual Type LPCVD System
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면저항측정기 4-point probe
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광학현미경 Optical microscope
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마이크로웨이브 열처리기 Microwave system
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패키징 다이본더 Die bonder
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표면단차측정기(박막두께측정기) Alpha-step
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