2022

• 대학중점연구소지원사업, 이공학학술연구기반구축(R&D) 핵심연구지원센터 조성 과제 선정

2021

• 3D 소자 연구에 필요한 전문장비 구축(ALD, Microwave 열처리기 등)
• 연구장비 공동활용을 위한 ZEUS 실시간 장비 예약시스템 구축(교내외 개방)

2020

• 산업통상지원부 반도체인프라구축지원사업 선정/수행(2020년 ~ 2021년)
• 나노기술연구협의회 나노소자공정실습 교육사업 선정/수행(2020년 ~ 현재)

2019

• 3D나노융합소자연구센터 설립(클린룸을 활용한 연구 및 교육사업 수행)
• KIAT 반도체 소재·부품·장비 전문인력양성사업 선정/수행(2019년 ~ 현재)

2018

• CMOS 소자 제작을 위한 기반장비 구축(Mask aligner, CVD, Sputter, RTP 등)

2017

• 반도체 클린룸 구축(LINC+ 사업단)