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특허 실적

패턴된 반사패드를 이용한 반도체 소자의 접합을 위한 미세 정렬 시스템 및 방법

작성자 관리자 날짜 2023-01-18 10:13:39
발명자 특허명 출원번호 출원년도

최리노, 이정환

패턴된 반사패드를 이용한 반도체 소자의 접합을 위한

미세 정렬 시스템 및 방법

PCT/KR2022/009280

 2022
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